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| 研究生： |
孫正勳 CHENG-HSUN SUN |
|---|---|
| 論文名稱： |
水平式MOCVD腔體中使用氣體脈衝法生長AlxGa1-xN多層結構之數值模擬分析 Numerical analysis of pulsed injection MOCVD method to grow AlxGa1-xN multi-layer structure in horizontal reactor |
| 指導教授： |
陳志臣
Jyh-Chen Chen |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2018 |
| 畢業學年度： | 106 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 78 |
| 相關次數： | 點閱：13 下載：0 |
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