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| 研究生： |
羅曉涵 HSIAO-HAN LO |
|---|---|
| 論文名稱： |
非對稱雙極脈衝DC濺鍍氮化鋁薄膜之電源參數實驗設計與OES大數據輔助預測殘留應力最佳化 Residual stress classification of pulsed DC reactive sputtered aluminum nitride via large-scale data analysis of optical emission spectroscopy |
| 指導教授： |
傅尹坤
KUN-FU YIN |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2021 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 94 |
| 相關次數： | 點閱：17 下載：0 |
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全文公開日期 2026/06/30全文公開日期 2026/06/30 (校外網路)