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| 研究生： |
粘少銘 Shao-Ming Nien |
|---|---|
| 論文名稱： |
氮化鋁/氮化鋁粗糙面鍵合:以氧電漿強化毛細作用 Aluminum nitride/aluminum nitride rough surface wafer bonding: use of oxygen plasma to enhance capillary action |
| 指導教授： |
李天錫
Tien-Hsi Lee |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2022 |
| 畢業學年度： | 110 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 72 |
| 相關次數： | 點閱：15 下載：0 |
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