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| 研究生： |
吳彥廷 Yan-Ting Wu |
|---|---|
| 論文名稱： |
氫離子佈值Si/SiO2薄膜覆蓋矽中之空位對氫擴散之效應 The effect of the vacancy of Si/SiO2/Si implanted by hydrogen ion on hydrogen diffusion |
| 指導教授： |
李天錫
Tien-Hsi Lee |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2021 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 73 |
| 相關次數： | 點閱：20 下載：0 |
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