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| 研究生： |
蔡育林 Yu-Lin Tsai |
|---|---|
| 論文名稱： |
線鋸 4H-SiC 晶圓表面之雷射處理及其研磨特性研究 Characterization of Laser-processed and Subsequently Ground Surfaces of Wire-sawed 4H-SiC Wafer |
| 指導教授： |
何正榮
Jeng-Rong Ho |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 76 |
| 相關次數： | 點閱：11 下載：0 |
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全文公開日期 2026/01/01全文公開日期 2026/01/01 (校外網路)