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| 研究生： |
呂建民 Jing-Ming Lu |
|---|---|
| 論文名稱： |
非各向同性薄膜光學常數之量測 |
| 指導教授： |
李正中
Cheng-Chung Lee |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 光電科學與工程學系 Department of Optics and Photonics |
| 畢業學年度： | 88 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 30 |
| 中文關鍵詞： | 非各向同性 |
| 相關次數： | 點閱：14 下載：0 |
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柱狀結構會使得膜層呈現非各向同性的現象，亦即膜層因光之入射角不同可解析成三種折射率。本文利用非各向同性薄膜其反射率與穿透率的特性，計算出反射率或穿透率和膜層光學常數的關係，這些光學常數包括主軸折射率、柱狀結構之傾斜角、膜層厚度。
蒸鍍TiO2與ZrO2並利用所推導之關係式，由反射率求出主軸折射率、柱狀結構之傾斜角、膜層厚度。
1. 李正中，薄膜光學與鍍膜技術，1999，藝軒圖書出版社.
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