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| 研究生： |
林家慶 Jia-ching Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
異質材料（石英/矽）晶圓鍵合之薄膜應力模擬與研究 Dissimilar Material Wafer Bonding - Silicon on Quartz THIM FILMSTRESSES SIMULATION and STUDY |
| 指導教授： |
李天錫
Tien-hsi Lee |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 畢業學年度： | 96 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 68 |
| 相關次數： | 點閱：9 下載：0 |
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