| 研究生: |
劉旻忠 Ming-Chung Liu |
|---|---|
| 論文名稱: |
193nm深紫外光學薄膜之研究 The research of optical thin films in DUV at 193nm |
| 指導教授: |
李正中
Cheng-Chung Lee |
| 口試委員: | |
| 學位類別: |
博士 Doctor |
| 系所名稱: |
理學院 - 光電科學與工程學系 Department of Optics and Photonics |
| 畢業學年度: | 93 |
| 語文別: | 中文 |
| 論文頁數: | 152 |
| 相關次數: | 點閱:13 下載:0 |
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