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| 研究生： |
張祐綸 You-lun Zhang |
|---|---|
| 論文名稱： |
以非晶化及再結晶消除奈米尺度矽晶薄膜之晶格缺陷 Crystallographic Defect Elimination of Silicon Nano-Membrane by Amorphousization and Recrystallization |
| 指導教授： | 李天錫 |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2014 |
| 畢業學年度： | 102 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 54 |
| 相關次數： | 點閱：18 下載：0 |
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