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研究生: 徐薪和
Sin-He Hsu
論文名稱: 電化學放電複合超音波振動輔助啄鑽式電泳沉積加工石英晶圓微形方孔之研究
Research on Electrochemical Discharge combined with Ultrasonic Vibration Assisted Electrophoresis Deposition Pecking Machining Micro Square Holes on Quartz Wafers
指導教授: 崔海平
Hai-Ping Tsui
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 機械工程學系
Department of Mechanical Engineering
論文出版年: 2025
畢業學年度: 113
語文別: 中文
論文頁數: 154
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