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研究生: 黃子宸
Tzu-Chen Huang
論文名稱: 以生物鐵螯合劑表面改質矽奈米線場效電晶體感測器用於半導體製程化學品中的微量鐵離子檢測
Surface-Modified Silicon Nanowire FET Sensors with bio-Iron Chelator for Trace Ferric ion Detection in Chemicals used for Semiconductor Manufacturing
指導教授: 陳文逸
Wen-Yih Chen
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 化學工程與材料工程學系
Department of Chemical & Materials Engineering
論文出版年: 2025
畢業學年度: 113
語文別: 中文
論文頁數: 125
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