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| 研究生： |
林雋幃 Chun-Wei Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
創新進氣擴散系統設計開發– 檔板與垂直噴流設計於水平進氣式腔體 Modeling and Design a New Gas Injection Diffusion System by Barrier and Purge on Horizontal MOCVD Reactor |
| 指導教授： |
蕭述三
Shu-San Hsiau |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2014 |
| 畢業學年度： | 102 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 83 |
| 相關次數： | 點閱：17 下載：0 |
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