| 研究生: |
林玟妤 Wen-Yu Lin |
|---|---|
| 論文名稱: |
柴式長晶法生長8吋矽單晶之不同生長條件對BMD缺陷影響之數值模擬 Numerical Simulation of the Effects of Different Growth Conditions on BMD Defects in 8-Inch Silicon Single Crystals Grown by the Czochralski Method |
| 指導教授: |
陳志臣
Jyh-Chen Chen |
| 口試委員: | |
| 學位類別: |
碩士 Master |
| 系所名稱: |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年: | 2025 |
| 畢業學年度: | 114 |
| 語文別: | 中文 |
| 論文頁數: | 110 |
| 相關次數: | 點閱:10 下載:0 |
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全文公開日期 2027/10/01