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| 研究生： |
陳忠佑 Chung-Yu Chen |
|---|---|
| 論文名稱： |
脈衝直流放電之點火行為分析應用於低壓濺鍍 Analysis of the ignition behavior of a pulsed dc discharge used for low pressure sputtering |
| 指導教授： |
陳一塵
I-Chen Chen |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學與工程研究所 Graduate Institute of Materials Science & Engineering |
| 論文出版年： | 2021 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 61 |
| 相關次數： | 點閱：14 下載：0 |
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全文公開日期 2026/07/01全文公開日期 2026/07/01 (校外網路)