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研究生： 陳科良
Kol-Liang Chen
論文名稱： 以透明MFI沸石製作抗反射膜
Preparation of Anti-Reflection Film with Transparent MFI Zeolite
指導教授： 蔣孝澈
A.S.T.Chiang
李正中
Cheng-Chung Lee
口試委員:
學位類別： 碩士
Master
系所名稱： 理學院 - 光電科學與工程學系
Department of Optics and Photonics
畢業學年度： 94
語文別： 中文
論文頁數： 86
中文關鍵詞： 抗反射膜 、沸石 、溶膠凝膠法 、酸蝕法
外文關鍵詞： Zeolite, Sol-Gel Process, Acid Erosion, Anti-Reflection Film
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    • 　　未經鍍膜處理的光學系統，因界面反射的緣故，致最後的穿透光所剩不多，為了克服這種可謂黯淡無光的問題，於是需要抗反射膜（Anti-Reflection Coating）， 經過ARC處理的光學系統，不但可以提高穿透率，同時也大大減少光在元件間連續反射的量，使影像明晰度增加。
    　　本論文以溶膠凝膠法製做具有MFI結構的純二氧化矽沸石溶膠（Silicalite-1），再以旋轉塗佈鍍膜機在光學玻璃基板上鍍製單層膜，由於此膜的多孔結構，可以具有比一般二氧化矽材料還要低的折射率，可以用來製作抗反射膜。
    我們改變不同的實驗參數，來製作對應不同中心波長的抗反射膜，並以掃描式電子顯微鏡觀察其表面結構、以接觸角儀測量其親水性程度，並加以分析比較。

    　　Since the reflection of the boundary , the transparency of the optical system that not been coated will lower . In order to solve the problem , we need ARC（Anti-Reflection Coating）. The optical system that been coated with Anti-Reflection film not only can enhance the transparency but also can reduce the consecutive reflection between optical devices , it can make the image clearer .
    　　In this master thesis , we manufacture Silicalite-1 sol which has MFI structure of zeolite through Sol-Gel method . We can get a single layer thin film coated on optical glass substrate by operating spin-coater . Due to the microporous structure of the film , its refractive index will lower than normal silicate film without porous structure , and therefore we can make anti-reflection films that have higher transparency .
    　　We manufacture anti-reflection films corresponding different central wavelength by altering experiment , then observe surface structure with field emission scanning electron microscope , gauge the character of hydrophile with contact amgle instrument.

    英文摘要………………………………………………………………I 中文摘要………………………………………………………………II 致謝辭…………………………………………………………………III 圖目錄…………………………………………………………………VII 表目錄…………………………………………………………………XI 第一章 緒論 …………………………………………………………1 1-1前言 ……………………………………………………………2 1-2沸石簡介 ………………………………………………………3 1-3 MFI沸石 ………………………………………………………5 第二章　基本理論……………………………………………………7 2-1抗反射膜 ………………………………………………………7 　2-2酸蝕法………………………………………………………….10 　2-3旋轉塗佈法……………………………………………………..11 2-4溶膠凝膠法…………………………………………………….12 第三章　沸石膜製作方法文獻回顧…………………………………13 3-1沸石膜之製作方法與相關文獻………………………………..13 3-2直接含浸水熱法……………………………………………….14 　3-3 二次成長法……………………………………………………17 3-4 氣相轉化法……………………………………………………21 3-5 研究方向………………………………………………………23 第四章 實驗結果與討論 …………………………………………24 4-1 MFI沸石前趨物溶膠之製備…………………………………24 4-2基材處裡及鍍膜流程…………………………………………26 4-3以掃描式電子顯微鏡分析MFI沸石膜性質…………………28 4-3-1 煅燒後的SEM圖 ………………………………………30 4-3-2 浸泡鹽酸酒精溶液後的SEM圖 ………………………34 4-3-2-1 轉速對沸石膜的影響………………………………35 4-3-2-2 浸泡濃度對沸石膜的影響…………………………45 　　4-3-2-3 浸泡時間以及旋鍍後乾燥時間對沸石膜的影響…49 4-4 以接觸角儀分析MFI沸石膜性質 …………………………54 4-4-1 剛以Spin Coater旋鍍溶膠溶液後的接觸角 …………57 4-4-2 浸泡稀鹽酸酒精溶液正面的接觸角比較 ……………59 4-4-2-1 轉速對接觸角的影響 ……………………………59 4-4-2-2 浸泡濃度對接觸角的影響 ………………………60 　　4-4-2-3 浸泡時間以及旋鍍後乾燥時間對接觸角的影響...61 4-4-3 浸泡稀鹽酸酒精溶液背面的接觸角比較……………62 4-5 以光譜儀分析MFI沸石膜性質……………………………64 　 4-5-1 煅燒的穿透光譜圖比較……………………………… 65 4-5-2 浸泡鹽酸酒精溶液後的穿透光譜圖比較……………75 4-5-2-1 轉速對穿透光譜的比較…………………………76 4-5-2-2 改變浸泡濃度、浸泡時間的穿透光譜圖比較…79 第五章　結論………………………………………………………83 參考資料……………………………………………………………85

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