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| 研究生： |
林品宏 Ping-Hung Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
液體輔助超短脈衝雷射薄石英晶圓微鑽孔研究 Research on Liquid-assisted Micro-drilling of Thin Quartz Wafers Using Ultrashort Pulse Laser |
| 指導教授： |
何正榮
Jeng-Rong Ho |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 171 |
| 相關次數： | 點閱：12 下載：0 |
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全文公開日期 2029/08/22全文公開日期 2029/08/22 (校外網路)