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| 研究生： |
林宛蓉 Wan-jung Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
薄膜電性效應對等離子體注入之影響研究 The Effect of The Thin Film Electric Characteristic for Plasma Immersion Ion Implantation |
| 指導教授： |
李天錫
Tien-his Lee |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 畢業學年度： | 96 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 88 |
| 相關次數： | 點閱：9 下載：0 |
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