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| 研究生： |
周威宇 Zhou, Wei-Yu |
|---|---|
| 論文名稱： |
半導體設備精密電源參數實驗設計-非對稱雙極脈衝DC濺鍍氮化鋁薄膜之微觀組織與機械性質最佳化分析 |
| 指導教授： | 傅尹坤 |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 88 |
| 相關次數： | 點閱：18 下載：0 |
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全文公開日期 2028/07/01全文公開日期 2028/07/01 (校外網路)