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| 研究生： |
陳韋旭 Wei-Shu Chen |
|---|---|
| 論文名稱： |
以氟化銨之光電化學蝕刻法在n-Si(100)單晶表面製作微米溝槽 Preparation of macro trenches on Si(100) by photo-electrochemical etching in ammonium fluoride solution |
| 指導教授： |
林景崎
Jing-Chie Lin |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 畢業學年度： | 93 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 110 |
| 相關次數： | 點閱：7 下載：0 |
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