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| 研究生： |
李建霖 Chien-lin Li |
|---|---|
| 論文名稱： |
多晶矽覆蓋層對矽中佈植氫離子之聚合條件研究 The study pf poly-Silicon Cover Layer on the Hydrogen Blistering Condition of Implanted Hydrogen Ions in Silicon |
| 指導教授： | 李天錫 |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2013 |
| 畢業學年度： | 101 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 84 |
| 相關次數： | 點閱：10 下載：0 |
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