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| 研究生： |
曾學澧 Hsueh-Li Tseng |
|---|---|
| 論文名稱： |
射頻及脈衝直流反應濺鍍沉積c 軸取向氮化鋁薄膜質 量的比較研究與OES 大數據關聯性分析 Comparative study on the Quality of c-axis Oriented AlN Film Deposited by RF and Pulsed DC Reactive Sputtering with OES Correlation Analysis |
| 指導教授： |
傅尹坤
Yiin-kuen Fuh |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 66 |
| 相關次數： | 點閱：11 下載：0 |
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全文公開日期 2029/07/01全文公開日期 2029/07/01 (校外網路)