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| 研究生： |
林書羽 Shu-Yu Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
開發聚電解質分散劑應用於化學機械平坦化之氧化鈰研磨液 Development of Polyelectrolyte Dispersants for Ceria Abrasive in Chemical Mechanical Planarization. |
| 指導教授： |
黃俊仁
Chun-Jen Huang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 化學工程與材料工程學系 Department of Chemical & Materials Engineering |
| 論文出版年： | 2025 |
| 畢業學年度： | 113 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 113 |
| 相關次數： | 點閱：68 下載：0 |
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