由於微細散熱片在微機電領域中廣泛使用，而其製作成本昂貴且加工過程繁複，在應用上較為不方便。因此本實驗中將凹形及矩形之銅箔以疊加方式組合成一電極群，並藉由微細放電加工方法加工出具有數十道槽狀的微細散熱片。實驗結果發現在微細槽加工過程中，加工屑之排除相當重要，當加工屑之排除效果不佳時其會產生較嚴重之側邊凹陷情形；在加工液採用噴、吸之流動方式時，可增進加工屑之排除，其中以吸流型態可得到較佳之材料去除效果。另外；當使用蒸餾水為加工液時，其加工後形狀為三角形，與加工液為煤油時所加工出來的矩形大不相同，並且使用蒸餾水為加工液時加工後微細槽邊緣會有類似毛邊的現象產生。

Micro multi-slit machining of cemented carbide

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