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| 研究生： |
袁寧袖 Ning-Hsiu Yuan |
|---|---|
| 論文名稱： |
多層堆疊氮化鋁壓電薄膜之應力梯度與變形行為研究 Stress Gradient and Deformation Behavior of Multilayer Stacked AlN Piezoelectric Films |
| 指導教授： |
利定東
Ting-Tung Li |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 58 |
| 相關次數： | 點閱：18 下載：0 |
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全文公開日期 2028/07/31全文公開日期 2028/07/31 (校外網路)