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研究生: 劉宜臻
Yi-Zhen Liu
論文名稱: 以 I-Line 光學微影法製作次微米氮化鎵高電子遷移率電晶體之研究
Fabrication of Submicron GaN-based HEMTs by I-Line Optical Lithography
指導教授: 綦振瀛
Jen-Inn Chyi
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 資訊電機學院 - 電機工程學系
Department of Electrical Engineering
論文出版年: 2019
畢業學年度: 107
語文別: 中文
論文頁數: 83
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