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研究生： 袁崑益
Kuin-Yi Young
論文名稱： 光學薄膜熱傳導特性量測之研究
指導教授： 李正中
Cheng-Chung Lee
口試委員:
學位類別： 碩士
Master
系所名稱： 理學院 - 光電科學與工程學系
Department of Optics and Photonics
畢業學年度： 88
語文別： 中文
論文頁數： 34
中文關鍵詞： 熱傳導
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    • 熱的特性中，熱傳導係數是蠻常見的材料特性參數。熱傳導係數在塊材時和製鍍成薄膜後，會有不同，甚至不同製成條件，也會有不同的熱傳導係數。在本文中，希望能以較精確的理論和架構求得薄膜的熱傳導係數，以及控制薄膜的製成條件，來提升熱傳導係數。

    摘要……………………………………….……………………………Ⅰ 誌謝……………………………………….……………………………Ⅱ 目錄……………………………………….……………………………Ⅲ 圖目錄…………………………………….……………………………Ⅴ 表目錄…………………………………….……………………………Ⅵ 正文 ……………………………………….……………………………1 一． 導論……………………………….……………………………1 二． 基本理論……………………………….………………………2 三． 實驗架構及步驟 3-1 蒸鍍系統………………….……………….…………….8 3-1-1 真空系統……………………………………………8 3-1-2 薄膜材料蒸發系統……………………………….9 3-1-3 離子源輔助鍍膜系統………………….…………9 3-1-4 監控系統……………………………….…..……10 3-2 量測系統………………………………….………………10 3-2-1 可見光及近紅外光量測系統……………………11 3-2-2 熱傳導量測儀…………………………...……11 3-3 實驗步驟………………….……………….………….12 3-3-1 以蒸鍍系統蒸鍍待測的材料……………………12 3-3-2 以自製的熱傳導量測熱儀量測…………………13 四． 實驗結果………………….………………….……………..16 4-1 薄膜的光學常數及熱傳導係數量測結果…………16 4-1-2 結果分析……………………………………24 4-2 與其它參考文獻的比較………………………….25 4-2-1 與參考文章(10)的比較……………………25 4-2-2 各種量測方式的比較………………………25 4-2-2-1 Photothermal 的量測方式…………28 4-2-2-2 ISLC ……………………………..…30 五． 結論…………………………………………………...……33 參考資料………………………………………………………………34

    參考資料：
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