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研究生: 蔡志昌
Chih-Chang Chai
論文名稱: 光電化學蝕刻n-型(100)單晶矽獲得矩陣排列之巨孔洞研究
Photo —Electrochemical etching on the n-type(100) of silicon single crystal to obtain array of macropores
指導教授: 林景崎
Jing-Chie Lin
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 機械工程學系
Department of Mechanical Engineering
畢業學年度: 89
語文別: 中文
論文頁數: 176
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