| 研究生: |
江晁鏷 Chao-Pu Jiang |
|---|---|
| 論文名稱: |
以離散元素法配合顆粒鍵接理論 探討矽晶圓研磨物理機制 |
| 指導教授: |
鍾雲吉
Yun-Chi Chung |
| 口試委員: | |
| 學位類別: |
碩士 Master |
| 系所名稱: |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年: | 2023 |
| 畢業學年度: | 112 |
| 語文別: | 中文 |
| 論文頁數: | 184 |
| 相關次數: | 點閱:13 下載:0 |
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全文公開日期 2028/12/31