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| 研究生： |
温琬婷 Wan-ting Wun |
|---|---|
| 論文名稱： |
柴氏法生長單晶矽過程之氧雜質傳輸控制數值分析 Numerical simulation of the oxygen transport of the CZ silicon crystal growth process |
| 指導教授： |
陳志臣
Jyh-chen Chen |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 畢業學年度： | 98 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 113 |
| 相關次數： | 點閱：16 下載：0 |
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