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| 研究生： |
葉政緯 YE,ZHENG-WEI |
|---|---|
| 論文名稱： |
MOCVD水平式腔體中氮化鎵薄膜製程碳濃度之模擬與傳輸現象分析 Numerical analysis of carbon concentration in GaN films growth via MOCVD in horizontal reactor |
| 指導教授： |
陳志臣
Chen, Jyh-Chen |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 能源工程研究所 Graduate Institute of Energy Engineering |
| 論文出版年： | 2018 |
| 畢業學年度： | 106 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 93 |
| 相關次數： | 點閱：6 下載：0 |
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