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研究生： 梁逸平
Yi-Ping Lian
論文名稱： 熔融法折射式微透鏡陣列之設計製造與檢測
指導教授： 張正陽
Jenq-Yang Chang
口試委員:
學位類別： 碩士
Master
系所名稱： 理學院 - 光電科學與工程學系
Department of Optics and Photonics
畢業學年度： 89
語文別： 中文
論文頁數： 98
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    • 件大致上可分為繞射式與折射式兩種，本論文所研究之光阻熔融式
    微透鏡陣列，則是屬於折射式光學元件之一。
    論文主要在於說明如何設計、製造出一系列之微透鏡陣列，並
    以各種檢測之方法，檢驗其特性，以求能找出更佳的製作參數。
    實驗中製作出之微（凸）透鏡，其直徑大小在20 mm ~ 100 mm
    之間，焦距約為20 mm ~ 300 mm 之間，數值孔徑則介於0.15 ~ 0.5
    之間。在品質上大致良好，皆為表面平整度高之球面透鏡。
    實驗所得之成品主要的缺點在於其實用性，因為光阻不是一個
    好的光學材料。改進方法為利用活性離子蝕刻機，將其形狀轉換至
    性質穩定之基板上，以增進其效能。

    論文摘要................................................0-1 誌謝................................................0-2 目錄....................................................0-3 圖表索引................................................0-5 第一章、序論...............................................1 第二章、基本原理...........................................3 2-1 各類折射式微透鏡陣列製程簡介........................3 2-2 熔融光阻式微透鏡陣列................................8 第三章、微透鏡陣列之設計..................................11 3-0 前言...............................................11 3-1 設計方法...........................................11 3-2 設計步驟...........................................14 第四章、微透鏡陣列之製造..................................18 4-0 前言...............................................18 4-1 製作流程簡介.......................................18 4-2 製作流程詳述.......................................19 第五章、微透鏡陣列之檢測..................................23 5-0 前言...............................................23 5-1 光學顯微鏡.........................................23 5-2 掃描式電子顯微鏡...................................25 5-3 機械式表面探測儀...................................26 5-4 光學干涉儀.........................................27 第六章、實驗結果之分析與討論..............................29 6-0 前言...............................................29 0 - 3 6-1 實驗數據結果之分析討論.............................32 6-1-1 顯微鏡之觀測.................................33 6-1-2 掃描式電子顯微鏡.............................35 6-1-3 機械式表面探測儀.............................36 6-1-4 光學干涉儀...................................39 6-1-5 綜合實驗結果所得之數據.......................41 6-2 實驗結果比較與分析.................................43 6-2-1 透鏡之高度、直徑..............................43 6-2-2 透鏡之焦距、曲率半徑、數值孔徑、聚光點大小......46 6-2-3 透鏡之光程差結果分析與討論...................49 6-3 結果歸納與改進方法.................................53 第七章、結論..............................................94 參考文獻.................................................97 0 - 4

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