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| 研究生： |
林倖如 Sing-Ru Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
用於紫外光曝光系統之石英透鏡陣列設計與驗證 Design and verification of quartz-based microlens array for UV exposure system |
| 指導教授： |
楊宗勳
Tsung-Hsun Yang 孫慶成 Ching-Cherng Sun |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 光電科學與工程學系 Department of Optics and Photonics |
| 論文出版年： | 2021 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 95 |
| 相關次數： | 點閱：18 下載：0 |
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全文公開日期 2026/09/01全文公開日期 2026/09/01 (校外網路)