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| 研究生： |
林思旻 Ssu-Min Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
水解二乙基鋅於近耦合噴淋式反對稱腔體 之MOCVD模擬設計分析 Simulation design and analysis of diethylzinc hydrolysis in an anti-symmetric close coupled showerhead MOCVD reactor |
| 指導教授： |
陳志臣
Jyh-Chen Chen |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 能源工程研究所 Graduate Institute of Energy Engineering |
| 論文出版年： | 2018 |
| 畢業學年度： | 106 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 103 |
| 相關次數： | 點閱：12 下載：0 |
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