| 研究生: |
陳玄宗 Xuan-Zong Chen |
|---|---|
| 論文名稱: |
以磁場模擬法設計磁鐵排列改善濺鍍機台之填洞能力 Gap filling capability improvement via magnetic field simulation assisted on long throw sputtering PVD of magnet designs and arrangements |
| 指導教授: |
利定東
Tomi. Li |
| 口試委員: | |
| 學位類別: |
碩士 Master |
| 系所名稱: |
工學院 - 能源工程研究所 Graduate Institute of Energy Engineering |
| 畢業學年度: | 100 |
| 語文別: | 中文 |
| 論文頁數: | 68 |
| 相關次數: | 點閱:14 下載:0 |
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