| 研究生: |
江仲鈞 Zhong-Jun Jiang |
|---|---|
| 論文名稱: |
利用低壓化學氣相沉積於矽基(111)上生長sp2鍵結氮化硼薄膜特性之研究 Characteristics of sp2-bonded Boron Nitride Thin Films Growm on Silicon (111) by Low Pressure Chemical Vapor Deposition |
| 指導教授: | 陳昇暉 |
| 口試委員: | |
| 學位類別: |
碩士 Master |
| 系所名稱: |
理學院 - 光電科學與工程學系 Department of Optics and Photonics |
| 論文出版年: | 2023 |
| 畢業學年度: | 111 |
| 語文別: | 英文 |
| 論文頁數: | 116 |
| 相關次數: | 點閱:19 下載:0 |
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全文公開日期 2028/03/30