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| 研究生： |
曹漢君 Han-chun Tsao |
|---|---|
| 論文名稱： |
248 nm準分子雷射對鋁薄膜的臨界破壞性質研究 Threshold Damage of Al film by 248 nm KrF Excimer Laser |
| 指導教授： |
劉正毓
Cheng-Yi Liu |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 化學工程與材料工程學系 Department of Chemical & Materials Engineering |
| 畢業學年度： | 96 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 50 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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