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| 研究生： |
周家玥 Chia-Yueh Chou |
|---|---|
| 論文名稱： |
濺鍍氣氛及基材對氮化矽/氧化矽介電性增強機制探討 Effect of mixing Ar/N2 sputtering ambients and ITO interlayer surface on dielectrics of Si-nitride and Si-oxide films |
| 指導教授： |
劉正毓
Cheng-Yi Liu |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 化學工程與材料工程學系 Department of Chemical & Materials Engineering |
| 論文出版年： | 2022 |
| 畢業學年度： | 110 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 76 |
| 相關次數： | 點閱：7 下載：0 |
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全文公開日期 2026/06/30全文公開日期 2026/06/30 (校外網路)