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研究生： 陳松昇
song-sang chen
論文名稱： 低溫成長氮化鎵薄膜之特性研究
Material Characterizations of Low temperature grown GaN films
指導教授： 紀國鍾
G. C. Chi
口試委員:
學位類別： 碩士
Master
系所名稱： 理學院 - 物理學系
Department of Physics
畢業學年度： 91
語文別： 中文
論文頁數： 64
中文關鍵詞： 低溫成長的氮化鎵
外文關鍵詞： LT-GaN
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    • This issue is discovered the material characterizations of low temperature growth GaN films:including electricity,optical properties,structure.

    第一章簡介… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 1 第二章實驗原理與實驗裝置… … … … … … … … … … … … … … … … … 2 2-1 雜質的摻雜… … … … … … … … … … … … … … … ...… .2 2-2 離子佈植的基本理論… … … … … … … … … … … … ....2 2-2.1 離子佈植的分佈及範圍… … … … … … … … … … … … 2 2-2.2 脫序… … … … … … … … … … … … … … … … … ..… … ..5 2-2.3 退火… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 6 2-2.4 通道理論… … … … … … … … … … … … … … … … … … 6 2-3 離子佈植系統… … … … … … … … … … … … … … … .....7 2-4 霍爾量測… … … … … … … … … … … … … … … … … ....7 2-4.1 霍爾量測實驗原理… … … … … … … … … … … … … … 7 2-4.2 霍爾量測實驗裝置… … … … … … … … … … … … … 8 2-5 光性量測… … … … … … … … … … … … … … … … … … ...9 2-5.1 光激發光量測系統… … … … … … … … … … … … … 9 2-5.2 吸收光譜量測系統… … … … … … … … … … … … ..10 2-6 X-ray 繞射… … … … … … … … … … … … … … … … ...… 12 2-6.1 X-ray 繞射之基本理論… … … … … … … … … … … 12 2-6.2 X-ray 繞射之量測裝置… … … … … … … … … … … 15 2-7 原子力顯微鏡量測系統… … … … … … … … … … … .15 第三章低溫成長氮化鎵熱處理後之特性量測… … … … … … … … … … ..17 3-1 霍爾電性之量測… … … … … … … … … … … ...… … … ..17 3-2 光性量測… … … … … … … … … … … … … … … … ...… ..17 3-2.1 光激發光譜之量測… … … … … … … … … … … … ..17 3-2.2 吸收光譜之量測分析… … … … … … … … … … … ..18 3-3 X-ray 之量測分析… … … … … … … … … … … … … … ...20 3-3.1 q -2q scan… … … … … … … … … … ......… … … … ..20 3-3.2 Rocking curve… … … … … … … … … … … … … … .21 3-4 X-ray 量測結論… … … … … … … … … … … … … … … ...21 第四章低溫成長氮化鎵離子佈植後之特性量測… … … … … … … … … ...22 4-1 霍爾電性之量測分析… … … … … … … … … … … … … .22 4-1.1 改變活化時間… … … … … … … … … … … … … … ..22 4-1.2 改變佈植量… … … … … … … … … … … … … … … ..23 4-2 光性量測… … … … … … … … … … … … … … … … … ...25 4-2.1 光激發光譜之量測… … … … … … … … … … … … ..25 4-2.2 吸收光譜之量測分析… … … … … … … … … … … ..25 4-3 X-ray 繞射之量測分析… … … … … … … … … … … … … .28 4-3.1 q -2q scan… … … … … … … … .… … … … … … … ...28 4-3.2 Rocking curve… … … … … … … … … … … … … … ...30 4-4 原子力顯微鏡之量測分析… … … … … … … … … … … .31 第五章總論與未來工作… … … … … … … … … … … … .… … … … ..… ..33 5-1 總論… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 33 5-2 未來工作… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 35 參考資料… … … … … … … … … … … … … … … … … … … ..… ..74

    參考資料
    1.J. C. Zolper, M. Hagerott Crawford, and A. J. Howard,Appl. Phys.
    Lett, 68,200(1995)
    2.C. H. Lee, G. C. Chi, C. F. Lin, M. S. Feng, and J. D. Guo, Appl. Phys.
    Lett, 68, 3440(1996).
    3.R. Chierchia, T. Böttcher, H. Heinke, S. Einfeldt, S. Figge, and D. Hommel. Journal of Applied Physics Letter,Volume 93,Number 11
    4.C. J. Eiting, P. A. Grudowski, R. D. Dupuis, H. Hsia, Z. Tang, D.Becher, H. Kuo, G. E. Stillman, and M. Feng, Appl. Phys.Lett, 73, 3875(1998)
    5.M. L. Lee, and J. K. Sheu,Appl.Phys.Lett, Volume 94,Number 3(2003)
    6.鄧堯中, “X光分析成長在藍寶石基板上氮化鎵緩衝層”
    7.許樹恩, 吳泰伯, “X光繞射原理與材料結構分析

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