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| 研究生： |
韋人豪 Jen-Hao Wei |
|---|---|
| 論文名稱： |
以低壓化學氣相沉積成長六方氮化硼薄膜於矽基板其均勻性與時間可靠性之研究 |
| 指導教授： |
陳昇暉
Sheng-Hui Chen |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 光電科學與工程學系 Department of Optics and Photonics |
| 論文出版年： | 2021 |
| 畢業學年度： | 110 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 72 |
| 相關次數： | 點閱：13 下載：0 |
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全文公開日期 2026/12/30全文公開日期 2026/12/30 (校外網路)