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| 研究生： |
林世豪 Shin-Ho Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
Mirau干涉共焦術應用於奈米階高試片量測之研究 Measurement of standards with nanometrology step height in the Mirau-interference Confocal Microscopy |
| 指導教授： |
張榮森
Rong-Sen Chang 李朱育 Ju-Yi Lee |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 光電科學研究所碩士在職專班 Executive Master of Optics and Photonics |
| 畢業學年度： | 95 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 68 |
| 相關次數： | 點閱：27 下載：0 |
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