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| 研究生： |
林柏丞 Po-Chen Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
共濺鍍銅鈦薄膜之相分離演化機制與其對機械性質於3DIC接合的影響 Effect of Phase Separation Evolution on Mechanical Strength of Co-sputtering Cu(Ti) Thin Film in 3DIC Bonding |
| 指導教授： |
吳子嘉
Albert T. Wu |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 化學工程與材料工程學系 Department of Chemical & Materials Engineering |
| 論文出版年： | 2017 |
| 畢業學年度： | 105 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 92 |
| 相關次數： | 點閱：20 下載：0 |
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