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研究生: 鄭儒宇
Ru-Yu Cheng
論文名稱: 磊晶成長氮化鎵高電子遷移率電晶體 結構 於矽基板過程晶圓翹曲之研析
Investigation on Wafer Warpage during Epitaxy of GaN High Electron Mobility Transistors on Si
指導教授: 綦振瀛
Jen-Inn Chyi
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 資訊電機學院 - 電機工程學系
Department of Electrical Engineering
論文出版年: 2021
畢業學年度: 109
語文別: 中文
論文頁數: 54
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