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| 研究生： |
湯翊玄 Yi-Hsuan Tang |
|---|---|
| 論文名稱： |
以超短脈衝雷射內部刻畫技術實現高品質裂面和高效石英晶圓切割探討 Exploring the Technology of Achieving Quality Cleavage and Efficient Quartz Wafer Dicing with Ultrashort Pulse Laser Internal Inscription |
| 指導教授： |
何正榮
Jeng-Rong Ho |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 108 |
| 相關次數： | 點閱：14 下載：0 |
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全文公開日期 2029/08/21全文公開日期 2029/08/21 (校外網路)