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| 研究生： |
林耀星 Yao-hsing Lin |
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| 論文名稱： |
氣體電漿表面改質及濕式化學蝕刻法結合微奈米球微影術製備位置、尺寸可調控矽晶二維奈米結構陣列之研究 Fabrication of Site- and Size-controllable Periodic Arrays 2D Well-ordered Si Nanostructures by Plasma Modified Nanosphere Lithography and Chemical Wet Etching Processes |
| 指導教授： |
鄭紹良
Shao-liang Cheng |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 化學工程與材料工程學系 Department of Chemical & Materials Engineering |
| 畢業學年度： | 100 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 103 |
| 相關次數： | 點閱：8 下載：0 |
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