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| 研究生： |
謝泓火奇 HUNG-CHI HSIEH |
|---|---|
| 論文名稱： |
低溫製備矽基鍺磊晶薄膜及矽基鍺緩衝層砷化鎵薄膜之研究 Low Temperature Growth and Fabrication of Silicon-based Epitaxial Germanium Films and Silicon-based Epitaxial Germanium Buffer Gallium Arsenide Films |
| 指導教授： |
張正陽
Jenq-Yang Chang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學與工程研究所 Graduate Institute of Materials Science & Engineering |
| 論文出版年： | 2015 |
| 畢業學年度： | 103 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 89 |
| 相關次數： | 點閱：18 下載：0 |
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