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| 研究生： |
楊上賢 Shang-Shian Yang |
|---|---|
| 論文名稱： |
電弧噴塗積層製造：Ta/TaN 薄膜物理氣相沉積中腔體襯套翻新與顆粒缺陷減少相關性研究 Arc spray-additive manufacturing: Correlation of Chamber Kits Refurbishing and Particle Defects Reduction in Ta/TaN Thin-Film Physical Deposition Processes |
| 指導教授： |
利定東
Ting-Tung Li |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 76 |
| 相關次數： | 點閱：9 下載：0 |
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