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| 研究生： |
盧勁甫 Jin-Fu Lu |
|---|---|
| 論文名稱： |
高頻RF感應加熱器應用於MOCVD承載盤之均溫性探討分析 Analysis of uniform temperature distribution in MOCVD susceptor by high frequency RF induction heater |
| 指導教授： |
利定東
Tomi Li |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 能源工程研究所 Graduate Institute of Energy Engineering |
| 論文出版年： | 2014 |
| 畢業學年度： | 102 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 127 |
| 相關次數： | 點閱：13 下載：0 |
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