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| 研究生： |
林坤彥 Kun-Yan Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
鉭錳合金及銅鍺化合物應用於積體電路後段製程中銅導線之研究 The application of tantalum-manganese alloy and copper-germanide on copper interconnect in back-end module of integrated circuit |
| 指導教授： |
辛正倫
Cheng-Lun Hsin |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
資訊電機學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 論文出版年： | 2015 |
| 畢業學年度： | 103 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 36 |
| 相關次數： | 點閱：8 下載：0 |
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