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| 研究生： |
林義鈞 LIN, YI-JIUN |
|---|---|
| 論文名稱： |
最佳化設計金屬有機化學氣相沉積高溫加熱系統數值分析研究 Optimal Design of Metal-Organic Chemical Vapor Deposition High Temperature Heating System Using Numerical Analysis |
| 指導教授： | 利定東 |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2013 |
| 畢業學年度： | 101 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 125 |
| 相關次數： | 點閱：19 下載：0 |
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