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| 研究生： |
林雅晴 Ya-Ching Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
高能脈衝磁控濺鍍緩衝層對矽基氮化鎵磊晶表面形貌及極性研究 Study on the Surface Morphology and Polarity of GaN Epitaxy on Silicon Substrates with HiPIMS Buffer Layer |
| 指導教授： |
陳昇暉
Sheng-Hui Chen |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 光電科學與工程學系 Department of Optics and Photonics |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 92 |
| 相關次數： | 點閱：14 下載：0 |
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全文公開日期 2027/08/31全文公開日期 2027/08/31 (校外網路)